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配置図配置ガイド

真空蒸着装置 Vacuum evaporator

装置の写真

真空蒸着装置は、真空中でタングステンやカーボンを通電加熱し、その熱によって金や白金を蒸発させ試料に付着させる装置です。この装置により、グリッドに張った支持膜のカーボン補強や、試料への重金属のコーティングやシャドウイングを行なうことができます。
また、電子顕微鏡部品(可動絞りなど)の真空中での焼き出しクリーニングにも使用します。
Vacuum evaporator heats tungsten or carbon to evaporate with an overhead electrode, causing gold or platinum to be evaporated and coat the EM sample.
This device can be used for reinforcing carbon of support films on grids and coating and shadowing of heavy metals on samples, as well as cleaning of electron microscope components (e.g., movable aperture) in a vacuum.

設置機器メーカー/型式 Equipment

日本電子製/JEE-4C(JEOL/JEE-4C)

仕 様 Specs

到達真空度 Ultimate vacuum:5 × 10 ^-5 TORR
最大通電電流 Max current:50 A
電離真空計付属 Attached ionization vacuum gauge

設置場所 Location

4階 顕微鏡標本作製室1(405号室)
Microscopy Sample Preparation Room #1 (Room #405, CRL 4th floor)

担当者 Contact person

山元 武文(Takefumi Yamamoto)(TEL 2304)
森 康博(Yasuhiro Mori)(TEL 2307)
寺戸 勅雄(Tokio Terado)(TEL 2306)

学内向け SUMS only

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Last Updated 2022/11/09