設置機器メーカー/型式　Equipment

日本電子株式会社/JSM-6010LA（JEOL/JSM-6010LA）

仕　様　Specs

二次電子像分解能　　4.0 nm（加速電圧 20 kV/時 高真空モード時）
倍率　　　　　　　　5 〜 300,000倍
加速電圧　　　　　　0.5 〜 30 kV
検出器　　　　　　　二次電子検出器
　　　　　　　　　　反射電子検出器
デジタル画像画素数　1280 × 960 画素
　　　　　　　　　　2560 × 1920 画素
　　　　　　　　　　5120 × 3840 画素
付属装置　　　　　　エネルギー分散型エックス線分析装置

Resolution of secondary electron image: 4.0 nm (accelerating voltage 20 kV/h in high-vacuum mode)
Magnification: x5 〜 x300,000
Accelerating voltage: 0.5 〜 30 kV
Detector: Secondary electron detector, reflected electron detector
Pixel in digital imaging: 1280×960, 2560×1920, 5120×3840 pixels
Accessory device: Energy dispersive X-ray analyzer

設置場所　Location

４階　電子顕微鏡室（401号室）
Electron Microscope Lab (CRL 4th floor, Room #401)

担当者　Contact person

山元　武文（Takefumi Yamamoto）（TEL 2304）
森　康博（Yasuhiro Mori）（TEL 2307）
寺戸　勅雄（Tokio Terado）（TEL 2306）

学内向け　SUMS only

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